1 范圍

      本標準規定了電子工業企業防塵防毒的技術要求、措施和管理。

      本標準適用于電子工業企業生產過程中粉塵、毒物危害的工程技術和管理防范，也適用于安全生產 和職業病危害監督管理部門對電子工業企業生產過程中粉塵、毒物危害的監督。

2 規范性引用文件

      下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。本標準出版時，所示版本均 為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性。

      GB 8958 缺氧危險作業安全規程

      GB 11651 勞動防護用品選用規則

      GB 11984 氯氣安全規程

      GB 15603 常用化學危險品貯存通則

      GB/T 16758 排風罩的分類及技術條件

      GB 17916 毒害性商品儲藏養護技術條件

      GB 50019 采暖通風與空氣調節設計規范

      GB 50073 潔凈廠房設計規范

      GBZ 1 工業企業設計衛生標準

      GBZ 2.1 工業場所有害因素職業接觸限值 化學有害因素

      GBZ 158 工作場所職業病危害警示標識

      AQ/T 9002 生產經營單位安全生產事故應急預案編制導則

      SJ 30002 電子工業職業安全衛生設計規定

3 總則

3.1 為了有效地控制電子工業企業生產過程產生的粉塵、毒物危害因素，改善作業場所環境條件，保障 職工身體健康，促進生產發展，特制定本標準。

3.2 電子工業生產過程防塵防毒應堅持預防為主、防治結合、源頭控制、過程可控、綜合治理的原則，優 先選擇塵毒危害小的工藝和設備，積極采用無毒或低毒原（輔）料，以無毒代替有毒、以低毒代替高毒，并 對塵毒危害進行綜合治理，使其危害控制符合GBZ 2.1要求。

3.3 電子工業生產過程防塵防毒工作應持續改進，不斷降低作業場所塵毒物質濃度。

3.4 電子工業企業建設項目中產生塵毒危害的生產過程和設備應設置防塵防毒設備設施，且與主體工 程同時設計、同時施工、同時投入生產和使用。

4 生產工藝基本要求

4.1 電子工業企業應對整個生產過程中的粉塵、毒物危害進行辨識和評估，明確所有產生粉塵、毒物的 作業場所、工藝過程、設備及原（輔）料、中間產品、副產品，并建立職業衛生檔案。

4.2 產生粉塵、毒物的作業場所、工藝過程、設備設施在設計時應符合GBZ 1中第5.1節以及 SJ 30002的要求。

4.3 防塵防毒設備設施應保證作業場所中有害物質濃度符合GBZ 2.1的要求。在廠房氣象條件、潔 1 凈度要求與防塵防毒措施有矛盾時，應采取其他措施，保證作業人員健康。

4.4 下列工藝過程可能產生粉塵、毒物危害，應采取綜合治理措施：

      a）半導體器件（或集成電路）生產中的外延、氧化擴散、化學氣相沉積、離子注入、腐蝕、清洗、刻 蝕、濺射、塑封等工序。

      b）真空器件零件清洗、陰極熱絲制備、涂屏、充汞等。

      c）陶瓷料、玻璃料、磁性材料、塑料等材料的破碎、配制、加工工藝等。

      d）鑄造、熱處理、電火花加工、磨削加工、化學處理、電鍍、噴砂、油漆、涂裝工藝等。

      e）鉛蓄電池等含鉛生產工藝。

      f）電阻、電容等元件生產及印刷電路板（PCB）生產。

      g）電子裝聯工藝中的焊接、三防、固封工序等。

4.5 當作業場所空氣中的塵、毒在技術上較難控制時，宜采取以下措施：

      a）設置密閉操作室，保證新鮮空氣供應量不少于每人30 m³/h。

      b）采用送風面具或崗位送風。

      c）送入空氣應符合相關標準的要求。

4.6 在選擇生產工藝時，設計者和設備供應商應提供粉塵、毒物產生情況說明及控制措施技術文件，原（輔）料供應者應提供原（輔）料塵、毒危害技術說明文件、執行標準文件等。上述文件均應存檔。

5 生產廠房

5.1 選址

      生產廠房應選擇在環境空氣質量、氣象條件符合職業安全衛生要求、環境較為清潔的地區。

5.2 布局

5.2.1 廠區應合理布局，減少粉狀物料的運輸距離及中轉次數，避免不合理的交叉和重復運輸。

5.2.2 產生塵毒危害的生產區宜集中布置在廠區夏季最小頻率風向的上風側，且地勢開闊、通風條件良好的地段。

5.2.3 生產區內部布置應避免塵毒的交叉污染。

5.2.4 產生塵毒危害的工序或工作區（間）若在同一建筑物內，宜集中在靠近夏季最大頻率風向下風側的外墻布置，應與其他工序或工作區（間）可靠地隔開。

5.2.5 有毒物質、粉料輸送管道宜集中布置形成管廊，且管廊不宜設置在人員集中區域周邊。有毒物質、粉料輸送管道不應穿越辦公室、休息室、宿舍、人員密集廠房、餐廳、經常有人來往的通道（含地道、通 廊）等建筑物。

5.2.6 密閉廠房進氣口的位置不應設置在有毒、粉塵物質排放口污染影響區域內,且應保證在最不利氣象條件下進氣口不受到排放口有毒、粉塵物質的影響。

5.3 建（構）筑物

5.3.1 廠房結構應充分考慮防塵防毒的要求。內部結構應有足夠高度以布置管道，且有利于清除積塵。粉塵污染嚴重的廠房，應留有真空清掃機具行走的通道。

5.3.2 使用、產生劇毒物質的作業場所，其墻壁、頂棚和地面等內部結構和表面，應采用不吸收、不吸附 毒物的材料，宜加設保護層以便清洗。車間地面應平整、防滑、易于清掃。經常有積液的地面應做防水 處理并設置坡向排水系統。

5.3.3 對于多層廠房，產生有害氣體的場所宜布置在建筑物的上層。如必須布置在下層時，應采取安裝有效通風、防毒設備設施等措施，以防止對上層作業環境造成不良影響。

5.3.4 潔凈廠房采用的室內裝修材料，其有害物質散發量應符合國家相關規定，不宜使用對人身體有害的石棉類建筑材料。

6 工程技術措施

6.1 材料儲存與運輸

6.1.1 采用自動化設備，實現物料的自動裝載、泄漏檢測、連鎖控制，以避免或減少有害物質的散發。

6.1.2 采用密閉性好的輸送裝置，如氣力輸送、斗式提升機、螺旋輸送機、溜管、溜槽等。

6.1.3 改進工藝，減少粉、粒料的中轉環節，縮短輸送距離。

6.1.4 減少散裝粉、粒料轉運點的落差高度，并對落料點采取密閉、負壓等措施。

6.1.5 經常有人來往的通道（含地道、通廊），應有自然通風或機械通風，不應敷設有毒液體或有毒氣體 管道。

6.1.6 對塵、毒物品的運輸、儲存、分配應采取下列防范措施：

      a）在工作區內裝卸散裝的干砂、干石英砂、焦炭、煤粉、黏土等粉、粒料，不宜使用抓斗吊車、翻斗 車及卡車。允許灑水降塵的裝卸區域，應設置灑水設施，灑水設施應保證冬季的正常使用。

      b）有毒物品應儲存在專門的場所、庫房中，其貯存條件、貯存方式、貯存限量應符合GB 15603、 GB 17916的規定。

      c）儲存氣態有毒物質的場所應設置有效的氣體排放應急處理設施，以避免發生毒氣泄漏事故時 造成毒氣擴散。相互抵觸的氣態物質儲存容器應分室儲存，并有可靠措施避免泄漏時發生 反應。

      d）儲存液態有毒物質的場所應設置圍堰或導流槽（溝），圍堰的容積應不小于最大單罐地上部分 儲量。從圍堰或導流槽（溝）引出的排水（排污）管（溝）應匯集到專用的污水池。相互抵觸的液 態物質儲存容器應分別設置圍堰或導流槽（溝）、排水（排污）管（溝）、污水池，并有可靠措施避 免同時發生泄漏時散發出的氣態物質發生反應。

      e）存放粉粒狀或毒性材料的容器，應具有良好密閉性和耐蝕性。

      f）磷烷、砷烷、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒特種氣體的儲存間和配送管道廊內應設置 在線氣體檢測報警裝置并與事故排風及廢氣處理裝置連鎖。氦氣、六氟化硫等窒息性特種氣 體儲存間和配送管道廊內應設置在線氧氣檢測報警裝置并與新鮮空氣送風裝置連鎖。

      g）儲存和使用氰化物、砷化物等劇毒物品的庫房、工作間，其墻壁、頂棚和地面應采用不吸附毒物 的材料，并便于清洗和收集。室內管線宜暗敷。分發毒物處應設置洗滌池和通風柜。

      h）液氯罐儲存間應設置在線氯氣報警裝置并與事故排風及廢氣處理裝置連鎖，排放系統吸氣口 位置應靠近地面。儲存間內應設置起重設備及稀堿液池，其深度應能浸沒液氯罐，或配備氯氣 捕消器，并符合GB 11984的要求。

      1）危險化學品在潔凈廠房內的運輸、儲存、分配，應符合國家相關規定。

      j）對上述條款中未包括的塵、毒物品的運輸、儲存、分配應參照有關規范、條文要求，采取相應的 防范措施。

6.2 工藝與設備

6.2.1 生產工藝與設備宜采取密閉（整體密閉、局部密閉或小室密閉）或負壓方式工作。不能密閉時， 應設置排風罩。

6.2.2 在生產設備合理密閉和通風的基礎上宜采取隔離、遙控操作。

6.2.3 生產線上的單臺通風系統工藝設備宜集合成密閉的工藝系統。

6.2.4 對存在劇毒且難以消除其危害的工藝過程，應通過采取全自動化生產或遙控操作等措施，實現 人與危害現場的隔離。

6.2.5 生產過程中產生的劇毒氣體應進行機旁無害化處理后再排入公共排氣管道系統。

6.3 操作

6.3.1 密閉空間進行檢修時，應為檢修人員配備符合要求的個人防護用品，并配備現場監護人員。

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